2026年11月18-20日，由硅碳之家的“2026第四届湖北CVD硅碳负极材料技术大会”将在湖北武汉光谷潮漫凯瑞国际酒店举办，青岛芯笙微纳电子科技有限公司邀您参会交流！

青岛芯笙微纳电子科技有限公司2020 年 4 月成立，是山东大学科研成果孵化出来的高新技术、山东省专精特新企业。公司核心定位是MEMS 气体测控核心器件厂商，专注 MEMS 流量传感芯片自主研发，实现芯片‑模组‑仪表全链条自研，打破高端 MFC 国外垄断。

研发团队来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、中科院、山大等机构，承担国家重点研发计划、山东省重大创新工程等攻关项目，拥有几十项发明专利，建有青岛市先进传感器重点实验室，青岛、深圳设有研发制造基地，具备千级、万级洁净厂房，产品取得计量、防爆、CE 等多项认证。

业务原本以半导体、光伏为主，近些年深度切入锂电新材料赛道，重点服务CVD 法硅碳负极产线，解决硅烷、乙炔等高危特气精准配比控制难题。

硅碳负极 CVD 制备，无论是流化床还是连续回转炉工艺，都需要精确控制硅烷、乙炔、氮气、氩气等多种气体流量、压力、真空度，气体配比直接决定硅沉积量、碳包覆均匀性与材料批次一致性，也是量产工艺的关键瓶颈。

S300 系列 高性能 MEMS 质量流量控制器（MFC）

这是硅碳负极 CVD 产线最核心的产品，面向中试、大量产线。流道做碳化硅涂层，耐受硅烷裂解产生的粉尘与腐蚀，适配硅烷这类易燃易爆高危特气工况。兼顾微量反应气与大流量流化气的协同控制，动态响应速度快，多组分气体配比稳定，减少工艺漂移，适配流化床 CVD、连续回转炉 CVD两种主流硅碳工艺。流化床场景下，可同时处理大流量流化载气和微量硅源、碳源反应气；回转炉连续粉体沉积工况下保障长时间连续生产的配比一致性。