距展会开幕还有

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2026年11月18-20日,由硅碳之家主办的“2026第四届湖北CVD硅碳负极材料技术大会”将在湖北•武汉光谷潮漫凯瑞国际酒店举办,届时青岛芯笙微纳电子科技有限公司 发展部主任 田伟,将分享《气体质量流量控制器(MFC)在硅碳负极材料制备中的关键应用》主题报告。


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报告人简介

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田伟,山东大学博士,青岛芯笙微纳电子科技有限公司发展部主任,精通MEMS流量传感器及其系统集成技术,开发的气体质量流量计/流量控制器已实现国产化替代。作为单位/课题负责人承担科技部国家重点研发计划3项,山东省重大科技创新工程1项。至今,共发表论文10余篇、申请发明专利30余项。



报告内容简介

本报告聚焦 CVD 硅碳负极材料的制备过程,系统阐述了核心工艺设备关键部件——气体质量流量控制器的工作原理、行业发展现状及其核心应用价值。



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